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电子科技大学集成电路工艺ppt课件

格式：PPT，类型：课件

序号文件名格式页数大小
1 01 第一章：绪论 .pptx113页8.2MB
2 02 第二章：氧化 .pptx44页1.88MB
3 03 第三章：扩散 .pptx33页1.11MB
4 04 第四章：离子注入 .pptx47页3.69MB
5 05 第五章：光刻 .pptx102页10.92MB
6 06 第六章：刻蚀 .pptx52页3.61MB
7 07 第七章：沉积 .pptx55页1.93MB
8 08 第八章：蒸发与溅射 .pptx54页4.63MB
9 09 第九章：化学机械抛光 .pptx24页363.95KB
10 10 第十章：工艺集成 .pptx99页5.03MB
11 11 集成电路工艺总复习 .pptx89页719.93KB

课程介绍

01 第一章：绪论

02 第二章：氧化

03 第三章：扩散

04 第四章：离子注入

05 第五章：光刻

06 第六章：刻蚀

07 第七章：沉积

08 第八章：蒸发与溅射

09 第九章：化学机械抛光

10 第十章：工艺集成

11 集成电路工艺总复习