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08 第八章 工艺集成与IC制造.pptx
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《华中科技大学 微电子工艺学》课件目录
01 第一章 半导体工业概述
81页
02 第二章 加工环境和衬底制备
149页
03 第三章 热氧化薄膜技术
120页
04 第四章 掺杂原理与技术
168页
05 第五章 薄膜淀积与外延技术
204页
06 第六章 光刻与刻蚀工艺
208页
07 第七章 接触、隔离与互连
94页
08 第八章 工艺集成与IC制造
236页
09 《微电子工艺》复习提纲
19页
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