页数：53页文件大小：1.19 MB来源： 液压与气动ppt课件
本课件讲解液压与气压伺服系统，先介绍伺服系统的工作原理与特点，再说明力矩马达、力马达等典型伺服控制元件，进而讲解伺服阀的分类结构与特性，最后介绍液压伺服系统与气压伺服系统的应用。
10.1是一种液压进口节流阀式节流调速回路。在这种回路中，调定节流阀的开口量后，液压缸就以某一调定速度运动。通过前述章节分析可知，当负载、油温等参数发生变化时，这种回路将无法保证原有的运动速度，因而其速度精度较低且不能满足精确地连续无级调速要求。
可以将节流阀的开口大小定义为输入量，将液压缸的运动速度定义为输出量或被调节量。在上述回路中，当负载、油温等参数的变化而引起输出量变化时，这个变化并不影响或改变输入量，这种输出量不影响输入量的控制系统被称为开环控制系统。
开环控制系统不能修正由于外界干扰（如负载、油温等）变化而引起的输出量或被调节量的变化，因此控制精度较低。
为了提高这种回路的控制精度，可以设想节流阀由操作者来调节。在调节过程中，操作者不断地观察液压缸的测速装置所测出的实际速度，并比较这一实际速度与所希望的速度之间的差别。然后，操作者按这一差别来调节节流阀的开口量，以减少这一差值（偏差）。
例如，由于负载增大而使液压缸的速度低于希望值时，操作者就相应地加大节流阀的开口量，从而使液压缸的速度达到希望值。这一调节过程可用图10.2表示。
（液压缸速度）通过操作者的眼、脑和手来影响输入量（节流阀的开口量）。这种作用称为反馈。在实际系统中，为了实现自动控制，必须以电器、机械等装置来代替人来判断比较，这就是反馈装置。由于反馈的存在，控制作用形成了一个闭合回路，这种带有反馈装置的控制系统，被称为闭环控制系统。
图10.3为采用电液伺服阀控制的液压缸速度闭环控制系统。这一系统不仅使液压缸速度能任意调节，而且在外界干扰很大（如负载突变）的工况下，仍能使系统的实际输出速度与设定速度十分接近，即具有很高的控制精度和很快的响应性能。伺服系统的工作原理和特点(3/5)
在某一稳定状态下，液压缸速度由测速装置测得（齿条1、齿轮2和测速发电机3）并转换为电压uf0。这一电压与给定电位计4输入的电压信号ug0进行比较。其差ue0=ug0-uf0值经积分放大器放大后，以电流i0输入给电液伺服阀6。
电液伺服阀按输入电流的大小和方向自动地调节其开口量的大小和移动方向，控制输出油液的流量大小和方向。对应所输入的电流i0，电液伺服阀的开口量稳定地维持在xv0，伺服阀的输出流量为q0，液压缸速度保持为恒值υ0。
如果由于干扰的存在引起液压缸速度增大，则测速装置的输出电压uf>uf0，而使ue=ug0-uf<ue0，放大器输出电流i<i0。电液伺服阀开口量相应减小，使液压缸速度降低，直到υ=υ0时，调节过程结束。
按照同样原理，当输入给定信号电压连续变化时，液压缸速度也随之连续地按同样规律变化，即输出自动跟踪输入。伺服系统的工作原理和特点(4/5)
它是反馈系统把输出量的一部分或全部按一定方式回送到输入端，并和输入信号比较，这就是反馈作用。在上例中，反馈电压和给定电压是异号的，即反馈信号不断地抵消输入信号，这就是负反馈。自动控制系统中大多数反馈是负反馈。
（2）靠偏差工作要使执行元件输出一定的力和速度，伺服阀必须有一定的开口量，因此输入和输出之间必须有偏差信号。执行元件运动的结果又试图消除这个误差。但在伺服系统工作的任何时刻都不能完全消除这一偏差，伺服系统正是依靠这一偏差信号进行工作的。
（3）它是放大系统执行元件输出的力和功率远远大于输入信号的力和功率。其输出的能量是液压能源供给的。（4）它是跟踪系统液压缸的输出量完全跟踪输入信号的变化。伺服系统的工作原理和特点(5/5)
2.伺服系统职能方块图和系统组成环节图10.4是上述速度伺服控制系统的职能方框图。图中一个方框表示一个元件，方框中的文字表明该元件的职能。带有箭头的线段表示元件之间的相互作用，即系统中信号的传递方向。职能方框图明确地表示了系统的组成元件、各元件的职能以及系统中各元件的相互关系。
因此，职能方框图是用来表示自动控制系统工作过程的。
上述速度伺服控制系统是由输入元件、比较元件、放大及转换元件、执行元件、反馈元件和控制对象组成的。实际上，任何一个伺服控制系统都是由这些元件组成的，如图10.5所示。伺服系统职能方块图和系统组成环节(2/4)
10.5中各元件做一些说明：（1）输入元件通过输入元件，给出必要的输入信号。如上例中由电位计给出一定电压，作为系统的控制信号。（2）检测、反馈元件它随时测量输出量的大小，并将其转换成相应的反馈信号送回到比较元件。
上例中是由测速发电机测得液压缸的运动速度，并将其转换成相应的电压作为反馈信号。（3）比较元件将输入信号和反馈信号进行比较，并将其差值作为放大转换元件的输入。有时系统中不一定有单独的比较元件，而是由反馈元件、输入元件或放大元件的一部分来实现比较的功能。
伺服系统职能方块图和系统组成环节(3/4)
4.伺服系统的优缺点液压和气压伺服系统除具有其液压和气压传动所固有的一系列优点外，还具有控制精度高、响应速度快、自动化程度高等优点。但是，伺服元件加工精度高，因此价格较贵；特别是液压伺服系统对油液的污染比较敏感，因此可靠性受到影响；在小功率系统中，液压伺服控制不如电器控制灵活。
随着科学技术的发展，液压和气压伺服系统的缺点将不断地得到克服。在自动化技术领域中，液压和气压伺服控制有着广泛的应用前景。
1.力矩马达和力马达力矩马达是一种具有旋转运动的电－机械转换器，力马达是一种具有直线运动的电－机械转换器。它们在阀中的作用是将电控信号转换成转角（力矩马达）或直线位移（力马达），用来作为液压放大器的输入信号，
2.滑阀根据滑阀控制边数（起控制作用的阀口数）的不同，有单边控制、双边控制和四边控制三种类型滑阀。图10.6所示为单边滑阀的工作原理。滑阀控制边的开口量xs控制着液压缸右腔的压力和流量，从而控制液压缸运动的速度和方向。
来自泵的压力油进入单杆液压缸的有杆腔，通过活塞上小孔a进入无杆腔，压力由ps降为p1，再通过控制滑阀唯一的节流边流回油箱。在液压缸不受外载作用的条件下，。当阀芯根据输入信号向左移动时，开口量xs增大，无杆腔压力减小，于是p1A1<psA2，缸体向左移动。
因为缸体和阀体连接成一个整体，故阀体左移又使开口量xs减小（负反馈），直至平衡。
图10.7所示为双边滑阀的工作原理。压力油一路直接进入液压缸有杆腔，另一路经滑阀左控制边的开口xs1和液压缸无杆腔相通，并经滑阀右控制边的开口xs2流回油箱。当滑阀向左移动时，xs1减小，xs2增大，液压缸无杆腔压力p1减小，两腔受力不平衡，缸体向左移动。反之缸体向右移动；
双边控制滑阀比单边控制滑阀的调节灵敏度高、工作精度高。
图10.8所示为四边滑阀的工作原理。滑阀有四个控制边，开口xs1、xs2分别控制进入液压缸两腔的压力油，开口xs3、xs4分别控制液压缸两腔的回油。当滑阀向左移动时，液压缸左腔的进油口xs1减小，回油口xs3增大，使p1迅速减小；
与此同时，液压缸右腔的进油口xs2增大，回油口xs4减小，使p2迅速增大。这样就使活塞迅速左移。与双边控制滑阀相比，四边控制滑阀同时控制液压缸两腔的压力和流量，故调节灵敏度高，工作精度也高。
由上述可知，单边、双边和四边控制滑阀的控制作用是相同的，均起到换向和调节的作用。控制边数越多，控制质量越好，但其结构工艺性差。在通常情况下，四边控制滑阀多用于精度要求较高的系统；单边、双边控制滑阀用于一般精度系统。
四边滑阀在初始平衡的状态下，其开口有三种形式，即负开口（xs<0）、零开口（xs=0）和正开口（xs>0），如图10.9所示。具有零开口的控制滑阀，其工作精度最高；负开口控制滑阀有较大的不灵敏区，较少采用；
具有正开口的控制滑阀，工作精度较负开口高，但功率损耗大，稳定性也差。
3.射流管阀图10.10所示为射流管阀的工作原理。射流管阀由射流管1和接收板2组成。射流管可绕O轴左右摆动一个不大的角度，接收板上有两个并列的接收孔a、b，它们分别与液压缸两腔相通。压力油从管道进入射流管后从锥形喷嘴射出，经接收孔进入液压缸两腔。
当射流管处于两接收孔的中间位置时，两接收孔内油液的压力相等，液压缸不动。当输入信号使射流管绕O轴向左摆动一小角度时，进入孔b的油液压力就比进入孔a的油液压力大，液压缸向左移动。
由于接收板和缸体连结在一起，接收板也向左移动，形成负反馈，当射流管又处于两接受孔中间位置时，液压缸停止运动。射流管阀的优点是结构简单、动作灵敏、工作可靠。它的缺点是射流管运动部件惯性较大、工作性能较差；射流能量损耗大、效率较低；供油压力过高时易引起振动。
这种控制只适用于低压小功率场合。
4.喷嘴挡板阀喷嘴挡板阀有单喷嘴和双喷嘴两种，两者的工作原理基本相同。图10.11所示为双喷嘴挡板阀的工作原理，它主要由挡板1、喷嘴2和3、固定节流小孔4和5等元件组成。挡板和两个喷嘴之间形成两个可变的节流缝隙δ1和δ2。
当挡板处于中间位置时，两缝隙所形成的节流阻力相等，两喷嘴腔内的油液压力相等，即p1=p2，液压缸不动。压力油经孔道4和5、缝隙δ1和δ2流回油箱。当输入信号使挡板向左偏摆时，可变缝隙δ1关小，δ2开大，p1上升，p2下降，液压缸缸体向左移动。
因负反馈作用，当喷嘴跟随缸体移动到挡板两边对称位置时，液压缸停止运动。喷嘴挡板阀的优点是结构简单、加工方便、运动部件惯性小、反应快、精度和灵敏度高；缺点是能量损耗大、抗污染能力差。喷嘴挡板阀常用作多级放大伺服控制元件中的前置级。
1.伺服阀的分类、结构和工作原理(1)液压伺服阀的分类液控伺服阀主要是指电液伺服阀，它在接受电气模拟信号后，相应输出调制的流量和压力。它既是电液转换元件，也是功率放大元件，它能够将小功率的微弱电气输入信号转换为大功率的液压能（流量和压力）输出。
在电液伺服系统中，它将电气部分与液压部分连接起来，实现电液信号的转换与液压放大。电液伺服阀是电液伺服系统控制的核心。电液伺服阀广泛地应用于电液位置、速度、加速度、力伺服系统，以及伺服振动发生器中。
它具有体积小、结构紧凑、功率放大系数高、控制精度高、直线性好、死区小、灵敏度高、动态性能好以及响应速度快等优点。
电液伺服阀按用途、性能和结构特征可分为通用型和专用型；按输出量可分为流量控制伺服阀和压力控制伺服阀；按液压放大级数可分为单级、双级和三级伺服阀；按电气―机械转换后动作方式可分为力矩马达式（输出转角）和力马达式（输出直线位移）；
按电气―机械转换装置可分为动铁式（一般为衔铁转动）与动圈式和干式与湿式；按液压前置级的结构形式可分为单喷嘴挡板式、双喷嘴挡板式、四喷嘴挡板式、射流管式，偏转板射流式和滑阀式；按反馈形式可分为位置反馈、负载流量反馈和负载压力反馈；按输入信号形式可分为连续控制式和脉宽调制式。
专用型流量伺服阀是为满足系统的某些特殊要求而特殊制造的伺服阀。它通常是按特殊的性能、附加控制作用、安装尺寸及形式、工作环境、试验方法、质量保证措施、电气接插头、材料、工作液以及其它特殊要求等而分类。
通用型压力伺服阀一般按液压控制阀的级数及压力反馈原理来分类。在伺服阀中采用不同的反馈形式可以得到不同的伺服阀输出特性。利用位置反馈和负载流量反馈可实现流量控制，利用负载压力反馈可实现压力控制。
而连续控制式伺服阀的输入信号是连续变化的信号，脉宽调制式伺服阀的输入信号是脉宽调制的脉冲信号。连续控制式伺服阀多用于模拟调制的伺服系统中，脉宽调制式伺服阀多用于计算机控制的系统中。专用型压力伺服阀一般是按其特殊的压力控制特性、特殊的安装结构、及其它特殊因素来分类的。
液压伺服阀组成伺服阀通常由电－机械转换器（力矩马达或力马达）、液压放大器和反馈或平衡机构等三部分组成。其中，我们已经介绍过了电－机械转换器（力矩马达或力马达）和液压放大器，而伺服阀的输出级所采用的反馈或平衡机构是为使伺服阀的输出流量或输出压力获得与输入电控信号成比例的特性。
平衡机构通常用圆柱螺旋弹簧或片弹簧等。反馈常采用力反馈、位置反馈、电反馈和压力反馈等型式。具体结构原理在典型伺服阀的结构中阐述。
典型伺服阀结构与工作原理（a）滑阀式伺服阀滑阀式伺服阀又称动圈伺服阀。图10.12所示为滑阀式直接反馈二级电液伺服阀。
一对固定节流孔、预开口双边滑阀式前置液压放大器和三通滑阀式功率级组成。前置控制滑阀的两个预开口节流控制边与两个固定节流孔组成一个液压桥路。滑阀副的阀芯直接与力马达的动圈骨架相连，在阀套内滑动。前置级的阀套又是功率级滑阀放大器的阀芯。典型伺服阀结构与工作原理(2/8)
与对中弹簧的弹簧力相平衡，使动圈和前置级（控制级）阀芯移动，其位移量与动圈电流成正比。前置级阀芯若向右移动，则滑阀右腔控制口面积增大，右腔控制压力降低；左侧控制口面积减小，左腔控制压力升高。
该压力差作用在功率级滑阀阀心（即前置级的阀套）的两端上，使功率级滑阀阀心向右移动，也就是前置级滑阀的阀套向右移动，逐渐减小右侧控制孔的面积，直至停留在某一位置。在此位置上，前置级滑阀副的两个可变节流控制孔的面积相等，功率级滑阀阀芯两端的压力相等。
这种直接反馈的作用，使功率级滑阀阀芯跟随前置级滑阀阀芯运动，功率级滑阀阀芯的位移与动圈输入电流大小成正比。这种阀的优点是：采用动圈式力马达，结构简单，功率放大系数较大，滞环小和工作行程大；固定节流口尺寸大，不易被污物堵塞；
主滑阀两端控制油压作用面积大，从而加大了驱动力，使滑阀不易卡死，工作可靠。典型伺服阀结构与工作原理(3/8)
10.13所示为喷嘴挡板式二级四通力反馈电液伺服阀结构示意图。典型伺服阀结构与工作原理(4/8)
下半部为喷嘴挡板式和滑阀式液压放大器。衔铁3与挡板5和弹簧杆11连接在一起，由固定在阀体10上的弹簧管12支承。弹簧杆11下端为一球头，嵌放在滑阀9的凹槽内，永久磁铁1和导磁体2，4形成一个固定磁场。
当线圈13中没有电流通过时，衔铁3和导磁体2，4间的四个气隙中的磁通相等，且方向相同，衔铁3与挡板5都处于中间位置，因此滑阀没有油输出。
当有控制电流流入线圈13时，一组对角方向的气隙中的磁通增加，另一组对角方向的气隙中的磁通减小，于是衔铁3在磁力作用下克服弹簧管12的弹性反作用力而以弹簧管12中的某一点为支点偏转θ角，并偏转到磁力所产生的转矩与弹簧管的弹性反作用力产生的反转矩平衡时为止。
这时滑阀9尚未移动，而挡板5因随衔铁3偏转而发生挠曲，改变了它与两个喷嘴6之间的间隙，一个间隙减小，另一个间隙增大。典型伺服阀结构与工作原理(5/8)
两个对称的固定节流孔7和左右喷嘴6流出，通向回油。
当挡板5挠曲，喷嘴挡板的两个间隙不相等时，两喷嘴后侧的压力pa和pb就不相等，它们作用在滑阀9的左右端面上，使滑阀9向相应方向移动一段距离，压力油就通过滑阀9上的一个阀口输向执行元件，由执行元件回来的油经滑阀9上另一个阀口通向回油。
滑阀9移动时，弹簧杆11下端球头跟着移动，在衔铁挡板组件上产生转矩，使衔铁3向相应方向偏转，并使挡板5在两喷嘴间的偏移量减少，这就是所谓力反馈。反馈作用的结果，是使滑阀9两端的压差减小。
当滑阀9通过弹簧杆11作用于挡板5的力矩，喷嘴作用于挡板的力矩以及弹簧管反力矩之和等于力矩马达产生的电磁力矩时，滑阀9不再移动，并一直使其阀口保持在这一开度上。
通入线圈13的控制电流越大，使衔铁3偏转的转矩，弹簧杆11的挠曲变形，滑阀9两端的压差以及滑阀9的偏移量就越大，伺服阀输出的流量也就越大。典型伺服阀结构与工作原理(6/8)
喷嘴6与挡板之间的间隙，衔铁3转角都依次和输入电流成正比，因此这种阀的输出流量也和输入电流成正比。输入电流反向时，输出流量也反向。这种伺服阀，由于力反馈的存在，使得力矩马达在其零点附近工作，即衔铁偏转角θ很小，故线性度好。
此外，改变反馈弹簧杆11的刚度，就能在相同输入电流时改变滑阀的位移。这种伺服阀结构紧凑，外形尺寸小，响应快。但喷嘴挡板的工作间隙较小，对油液的清洁度要求较高。典型伺服阀结构与工作原理(7/8)
10.14所示为射流管式伺服阀结构示意图。该阀采用衔铁式力矩马达带动射流管，两个接收孔直接和主阀两端面连接，控制主阀运动。主阀靠一个板簧定位，其位移与主阀两端压力差成比例。这种阀的最小通流尺寸（射流管口尺寸）比喷嘴挡板的工作间隙大4～10倍，故对油液的清洁度要求较低。
缺点是零位泄漏量大；受油液粘度变化影响显著，低温特性差；力矩马达带动射流管，负载惯量大，响应速度低于喷嘴挡板阀。典型伺服阀结构与工作原理(8/8)
伺服阀规格选择与普通阀有些不同，一般按下列程序进行：1）根据负载参数或负载轨迹求出最大负载功率。2）由最大负载功率时的力FLm（或转矩FTm）计算负载压力及执行元件所需流量q。执行元件为液压缸时：执行元件为液压马达时：式中：Ap——缸承载腔的有效作用面积；
umax——最大功率时液压缸速度；V——马达排量；χ——最大功率时角速度。
3.气压伺服阀在气压控制系统中，除了有用气压伺服阀控制的气压伺服系统外，还有用比例阀控制的气压比例控制系统，比例控制阀结构简单，价格便宜，维修方便，它是介于普通的开关式控制阀和伺服控制阀之间的控制元件。比例控制阀与伺服控制阀的区别并不明显。
一般认为，比例控制阀消耗的电流大、响应慢、精度低、价廉和抗污染能力强；而伺服阀则相反，但随着科学的发展和技术的进步，比例阀有和伺服阀的差距会越来越小。另外，通常来讲比例控制阀适用于开环控制，而伺服控制阀则适用于闭环控制。由于比例/伺服控制阀正处于不断地开发和完善中，新类型较多。
初期的气压伺服阀是仿照液压喷嘴挡板型伺服阀加工而成的，不仅价格贵、且控制精度低，一直未能得到推广与应用。随着微电子、材料、传感器等科学技术的发展，现代控制理论和传感器可很容易地被组合利用，价廉地实现伺服功能变为可能。
气压伺服控制系统实现的可能性重新得到认识，新型气压伺服阀的开发和研究工作再度活跃起来。一般来讲直动式气压伺服阀主要由力马达、阀芯位移检测传感器、控制电路和主阀等构成。
阀心由力马达直接驱动，其位移由传感器检测，形成阀心位移的局部负反馈，从而提高了响应速度和控制精度其电源电压为DC24V，输入电压为0~10V。
图10.15所示的是输入电压―输出流量的特性曲线中，不同的输入电压对应着不同的阀心开口面积和位置，也即不同的流量和流动方向。电压为5V时，阀心处于中位；0～5V时，P口与A口相通；5～10V时，P口与B口相通。突然停电时，结构上使阀心到中位，气缸原位停止，提高了系统的安全性。
该阀具有良好的静、动态特性。
这类伺服阀，在使用中可用微机作为控制器，通过数/模转换器直接驱动。可使用标准气缸和位置传感器来组成价廉的伺服控制系统。但对于控制性能要求较高的自动化设备，应该使用厂家提供的伺服控制系统，如图10.16所示。它包括有伺服阀、位置传感器内置气缸、SPC型控制器。
在图中，目标值以程序或模拟量的方式输入给控制器，由控制器向伺服阀发出控制信号，实现对气缸的运动控制。气缸的位移由位置传感器检测，并反馈到控制器。控制器以气缸位移反馈量为基础，计算出速度、加速度反馈量。
再根据运行条件（负载质量、缸径、行程及伺服阀尺寸等），自动计算出控制信号的最优值，并作用于伺服阀，从而实现闭环控制。控制器与微机相连接后，使用厂家提供的系统管理软件，可实现程序管理、条件设定、远距离操作、动特性分析等多项功能。
控制器也可与可编程控器相连接，从而实现与其他系统的顺序动作、多轴运行等功能。气压伺服阀有多种规格。主要根据执行元件所需的流量来确定阀的规格。
1.车床液压仿形刀架车床液压仿形刀架是机液伺服系统。结合图10.17来说明它的工作原理和特点。
液压仿形刀架倾斜安装在车床溜板5的上面，工作时随溜板纵向移动。样板12安装在床身后侧支架上固定不动。液压泵站置于车床附近。仿形刀架液压缸的活塞杆固定在刀架的底座上，缸体6、阀体7和刀架连成一体，可在刀架底座的导轨上沿液压缸轴向移动。
滑阀阀芯10在弹簧的作用下通过杆9使杠杆8的触销11紧压在样板上。在车削圆柱面时，溜板5沿床身导轨4纵向移动。杠杆触销在样板的圆柱段内水平滑动，滑阀阀口不打开，刀架只能随溜板一起纵向移动，刀架在工件1上车出AB段圆柱面。
车削圆锥面时，触销沿样件的圆锥段滑动，使杠杆向上偏摆，从而带动阀芯上移，打开阀口，压力油进入液压缸上腔，推动缸体连同阀体和刀架轴向后退。阀体后退又逐渐使阀口关小，直至关闭为止。
在溜板不断地做纵向运动的同时，触销在样板的圆锥段上不断抬起，刀架也就不断地作轴向后退运动，此两运动的合成就使刀具在工件上车出BC段圆锥面。
其它曲面形状或凸肩也都是这样合成切削来形成的，如图10.18所示。图中、和分别表示溜板带动刀架的纵向运动速度、刀具沿液压缸轴向的运动速度和刀具的实际合成速度。
从仿形刀架的工作过程可以看出，刀架液压缸（执行元件）是以一定的仿形精度按着触销输入位移信号的变化规律而动作的，所以仿形刀架液压系统是液压伺服系统。
2.机械手伸缩运动伺服系统图10.19是机械手手臂伸缩电液伺服系统原理图。它主要由电液伺服阀1、液压缸2、活塞杆带动的机械手手臂3、齿轮齿条机构4、电位器5、步进电机6和放大器7等元件组成，是电液位置伺服系统。当电位器的触头处在中位时，触头上没有电压输出。
当它偏离这个位置时，由于产生了偏差就会输出相应的电压。电位器触头产生的微弱电压，经放大器放大后对电液伺服阀进行控制。电位器触头由步进电机带动旋转，步进电机的角位移和角速度由数字控制装置发出的脉冲数和脉冲频率控制。
齿条固定在机械手手臂上，电位器固定在齿轮上，所以当手臂带动齿轮转动时，电位器同齿轮一起转动，形成负反馈。
机械手伸缩系统的工作原理如下：由数字控制装置发出的一定数量的脉冲，使步进电动机带动电位器5的动触头转过一定的角度ρi（假定为顺时针转动），动触头偏离电位器中位，产生微弱电压u1，经放大器7放大成u2后，输入给电液伺服阀1的控制线圈，使伺服阀产生一定的开口量。
这时压力油经阀的开口进入液压缸的左腔，推动活塞连同机械手手臂一起向右移动，行程为xv；液压缸右腔的回油经伺服阀流回油箱。由于电位器的齿轮和机械手手臂上齿条相啮合，手臂向右移动时，电位器跟着作顺时针方向转动。
当电位器的中位和触头重合时，偏差为零，则动触头输出电压为零，电液伺服阀失去信号，阀口关闭，手臂停止移动。手臂移动的行程决定于脉冲数量，速度决定于脉冲频率。当数字控制装置发出反向脉冲时，步进电机逆时针方向转动，手臂缩回。
图10.20为机械手手臂伸缩运动伺服系统方块图。
3.钢带张力控制系统在带钢生产过程中，经常要求控制钢带的张力（例如在热处理炉内进行热处理时），因此对薄带材的连续生产提出了高精度恒张力控制要求。图10.21给出了钢带张力控制液压伺服系统的原理。
在钢带张力控制液压伺服系统中，热处理炉内的钢带张力由带钢牵引辊组2和带钢加载辊组8来确定。用直流电动机D作牵引，直流电动机D作为负载，以造成所需张力。
如果用调节系统中某一部件的位置来控制张力，由于在系统中各部件惯量大，时间滞后大，控制精度低不能满足要求，故在两辊组之间设置一液压伺服张力控制系统来控制精度。
其工作原理是：在转向辊左右两侧下方各设置力传感器，把它作为检测装置，两传感器检测所得到的信号的平均值与给定信号值相比较，当出现偏差信号时，信号经电放大器放大后输入给电液伺服阀。如果实际张力与给定值相等，则偏差信号为零，电液伺服阀没有输出，液压缸保持不动，浮动辊不动。
当张力增大时，偏差信号使电液伺服阀有一定的开口量，供给一定的流量，使液压缸向上移动，浮动辊上移，使张力减少到一定值。反之，当张力减少时，产生的偏差信号使电液伺服阀控制液压缸向下移动，浮动辊下移，使张力增大到一定值。
因此该系统是一个恒值力控制系统。它保证了带钢的张力符合要求，提高了钢材的质量。张力控制系统的职能方框图如图10.22所示。
1.力控制伺服系统气压比例/伺服控制系统非常适合应用于像汽车部件、橡胶制品、轴承及键盘等产品的中、小型疲劳试验机中。图10.23为汽车方向盘疲劳试验机的气压伺服控制系统。
该试验机主要由被试件1（方向盘）、负载传感器2、气缸3、位移传感器4、伺服控制阀5和伺服控制器及计算机等组成。要求向被试件方向盘的轴向、径向和螺旋方向，单独或复合（两轴同时）地施加正弦波变化的负载，然后检测其寿命。在图中，根据系统的要求，输入一定幅值和频率的信号。
由负载传感器检测出实际气缸的施加力，经伺服控制放大器放大、滤波和AD转换后，与给定值进行比较，从而产生控制信号，再经DA转换后由伺服控制器产生驱动伺服阀的电流，从而使气缸跟踪输入信号产生加载所需要的负载。该试验机的特点是：精度和简单性兼顾；在两轴同时加载时，不易形成相互干涉。
2.张力控制伺服系统在印刷、纺织、造纸等许多工业领域中，张力控制是不可缺少的工艺手段。带材或板材（纸张、胶片、电线、金属薄板等）的卷绕机，在卷绕过程中，为了保证产品的质量，都要求卷筒张力保持一定。
由于气压制动器具有价廉、维修简单、制动力矩范围变更方便等特点，所以在各种卷绕机中得到了广泛的应用。图10.24所示为采用比例压力阀组成的张力控制系统，它主要由卷筒1、带材或板材2、张力传感器3、比例压力阀4和气压制动器5等组成。
系统工作时，高速运动的带材或板材的张力由张力传感器检测，并反馈到控制器，控制器以张力反馈值与输入值的偏差为基础，采用一定的控制算法，输出控制量到比例压力阀，从而调整气压制动器的制动压力，以保证带材的张力恒定。
在张力控制中，控制精度比响应速度要求高，应该选用控制精度较高的喷咀档板型比例压力阀。
3.加压控制伺服系统图10.25为磨床中的加压控制伺服系统。在这种应用场合下，控制精度比响应速度要求高，同样应选用控制精度较高的喷咀挡板型或开关电磁阀型比例压力阀。
值得注意的是，加压控制的精度不仅取决于比例压力阀的精度，气缸的摩擦阻力特性影响也很大。标准气缸的摩擦阻力要随着工作压力、运动速度等因素变化，难于实现平稳加压控制。所以在此应用场合下，应该选用低速、恒摩擦阻力气缸。
该系统主要由比例压力阀1、气缸2、夹具3、磨石4和减压阀5等组成，系统中减压阀的作用是向气缸有杆腔加一恒压，以平衡活塞杆和夹具机构的自重。在工作过程中，首先关闭比例压力阀，调整减压阀的压力值，使气缸下腔作用在活塞杆上的力和活塞杆以及夹具机构的自重相平衡。
然后根据磨削所需要的力控制比例压力阀，使气缸产生所需的力施加于工件上。
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