《华中科技大学 微电子工艺学》课件
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- 1 01 第一章 半导体工业概述.pptx81页15.01 MB
- 2 02 第二章 加工环境和衬底制备.pptx149页4.63 MB
- 3 03 第三章 热氧化薄膜技术.pptx120页2.87 MB
- 4 04 第四章 掺杂原理与技术.pptx168页12.83 MB
- 5 05 第五章 薄膜淀积与外延技术.pptx204页8.42 MB
- 6 06 第六章 光刻与刻蚀工艺.pptx208页14.53 MB
- 7 07 第七章 接触、隔离与互连.pptx94页9.89 MB
- 8 08 第八章 工艺集成与IC制造.pptx236页17.33 MB
- 9 09 《微电子工艺》复习提纲.docx19页603.4 KB
